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宁波真空镀膜产品的常见几个问题

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宁波真空镀膜产品的常见几个问题

发布日期:2019-05-07 作者:宁波真空镀膜加工费用 点击:

宁波真空镀膜产品的常见几个问题

      不锈钢镀膜产品的常见问题,部分是不锈钢镀膜工序的本身造成的,部分是前工程遗留的问题,不锈钢镀膜终的品质是整个光学零件加工的(特别是抛光、清洗)的综合反映,对于出现不锈钢镀膜不良时必须综合考虑,才能真正找到不良产生的原因,对策改善才能取得成效。

膜脏(也称白压克)顾名思义,膜层有脏。一般的膜脏发生在膜内或膜外。脏可以包括:灰尘点、白雾、油斑、指纹印、口水点等。(灰尘点和白雾单列)

                                                                             不锈钢镀膜

灰点脏

       现象:1、镜片膜层不锈钢镀膜表面或内部有一些点子(不是膜料点)有些可以擦除,有的不能擦除。并且会有点状脱膜产生。

产生原因:真空室脏,不锈钢镀膜在开始抽真空时的空气涡流将真空室底板、护板的脏灰带到镜片上,形成灰点层。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)2、镜圈不锈钢镀膜或碟片脏,有浮点灰尘,在离子束作用下附着到了镜片上形成灰点层。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)3、不锈钢镀膜在镜片上伞时就有灰尘点,上伞时没有检查挑选。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)4、不锈钢镀膜在镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因,特别是当镜片热的时候,更容易吸附灰尘,而且难以擦除。(膜外)5、不锈钢镀膜在真空室充气口环境脏、开始充气量过大、充气过滤器脏,充气时镜片温度过高也是造成镜片膜外灰尘点不良的原因。(膜外)6、 作业员人为带来的灰尘污染(膜内膜外)7、 工作环境中灰尘过多

改善思路:杜绝灰尘源

      改善对策:1、工作环境改造洁净车间,严格按洁净车间规范实施。2、尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。3、 真空室周期打扫,保持清洁。

膜外白雾

                 不锈钢镀膜

       现象:不锈钢镀膜完成后,表面有一些淡淡的白雾,用丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。用氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(又称:可擦拭压克)分析:膜外白雾的成因较为复杂,可能的成因有:①、膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙;②、蒸发角过大,膜结构粗糙。③、温差:镜片出罩时内外温差过大④、潮气;镜片出罩后摆放环境的潮气⑤、真空室内Polycold解冻时水汽过重⑥、蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀⑦、膜与膜之间的应力。改善思路:膜外白雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善环境减少吸附的对象。

       改善对策:1、改善膜系,外层加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善镜片出罩时的环境(干燥、清洁)2、降低出罩时的镜片温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应力。3、改善充氧(加大),改善膜结构。4、适当降低蒸发速率,改善柱状结构5、离子辅助不锈钢镀膜,改善膜结构6、加上polycold解冻时的小充气阀(其功能是及时带走水汽)7、从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角。8、改善基片表面粗糙度。9、注意polycold解冻时的真空度。

膜内白雾

                                                            宁波真空镀膜

白雾形成在膜内,无法用擦拭方法祛除。

       可能的成因:①、基片脏,附着前工程的残留物②、镜片表面腐蚀污染③、膜料与膜料之间、膜料与基片之间的不匹配。④、氧化物充氧不够。⑤、一层氧化锆膜料,可能对某些基片产生白晕现象⑥、基片进罩前(洗净后)受潮气污染⑦、洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹⑧、真空室脏、水气过重⑨、环境湿度大

改善思路:基片本身的问题可能是主要的,不锈钢镀膜是尽量弥补,不锈钢镀膜本身的可能是膜料匹配问题。

改善对策:

1、改进膜系,层不用氧化锆。

2、尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在短时间内做好真空室的清洁、不锈钢镀膜准备工作。

3、真空室在更换护板、清洁后,能空罩抽真空烘烤一下,更换的护板等真空室部件必须干燥、干净。

4、改善环境

5、妥善保护进罩前在伞片上的镜片,免受污染。

6、改善洗净、擦拭效果。

7、不锈钢镀膜改善膜匹配(考虑层用Al2O3)

8、改善膜充氧和蒸发速率(降低)

9、加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。

10、抛光加工完成的光面,必须立即清洁干净,不能有不锈钢镀膜的抛光粉或其他杂质附着干结。

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